| 負壓槽尺寸圖[mm] | φ1700 |
| 傘架長寬比[mm] | φ1600 |
| 重量[mm] | W5,000×D7,000×H3,024 |
| 參量[kg] | 9,341 |
| res排氣體制 | 22 inchDP×2邁斯納冷阱 |
| 的基板加熱 | 鹵化燈 or 加熱絲 ~350℃ |
| 電子槍 | 180° or 270°的方向型 |
| 陰陽離子源 | 柵網式RF陰離子源 φ130,180,230 |
| 光學元件膜厚儀 | Lafio Plus |
| 黑曜石膜厚儀 | 單 or 六連傳感器 + COAT LEADER |
| 任何 | CP年紀為，TMP年紀為，360度旋轉板醫療機構，自公轉固定治具, 阻蒸，直連監管, ECO22 |
